XY轴位移台 XY-OF-UL-280x280+ACR260UT旋转双轴开放式框架
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产品规格型号
- 方向定位
- XY 轴, 旋转
- 轴数量
- 双轴
- 其他特性
- 开放式框架, 用于晶圆操作
- 运行行程
280 mm
(11.024 in)- 速度
400 mm/s, 800 mm/s
产品介绍
打开框架低调X - Y转台式阶段为薄酥饼处理和在半导体制造工业的许多其他自动化的准确安置的应用设计了。 X - Y的传动机构位于在单位一边和孔通过轮盘的大中心提供对薄酥饼的清楚的unobstruced通入从双方。
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