Langmuir探头 Plato Spatial

测量等离子密度

柏拉图空间探针是证言等离子的一根兰米尔探针。它横跨等离子的大多数扫描在不同的地点测量等离子参量均一。既使当一块绝缘层被放置探针表面上，它在证言等离子被设计运作。 既使当等离子有一个高沉积率，柏拉图探针在横跨等离子的不同的地点测量等离子参量例如等离子密度、离子电流密度和电子温度。 测量等离子参量均一在放置一块绝缘层的等离子的现在是可能的。 柏拉图空间探针来完全与在等离子反应器里面的不同的地点测量等离子的主要参量的一个自动化的线性驱动系统。柏拉图空间探针是在与高沉积率的等离子可能经营，并且关键的对它的成功是它的能力通过一块绝缘层准确地测量关键等离子参量浓厚几微米的市场上的第一根兰米尔探针。绝缘层的证言不影响探针的等离子描述特性的准确性。