Langmuir探头 Plato

测量等离子密度

...to 探头是一种平面朗缪尔探头，设计用于在探头表面沉积有绝缘膜的沉积等离子体中。这种耐沉积的朗缪尔探头可以在使用腐蚀性绝缘气体时留在等离子体反应器内。 ...to 探头可测量高沉积率等离子体（如等离子体增强化学气相沉积（PEVCD））中的等离子体参数，如等离子体密度、离子电流密度和电子温度。 多年来，测量高沉积环境中的等离子体参数一直很困难。Impedans 开发了一种突破性技术，即使在探头表面沉积了很厚的绝缘层时也能测量等离子体的参数。 ...to 探头是一种平面朗缪尔探头，用于在探头表面沉积绝缘膜时测量沉积等离子体的参数。...to 探头是市场上首款可在高沉积率等离子体中运行的朗缪尔探头。...to 探头的独特之处在于它能够通过几微米厚的沉积层精确测量关键等离子体参数。绝缘层的沉积不会影响探头测量的准确性。 柏拉图探针是一种独特的仪器，使科学家能够测量等离子体（包括沉积等离子体）的等离子体密度和电子温度。...to Probe 可以测量直流、射频、微波、连续和脉冲等离子体的等离子体参数。