比例测量系统 Quantum

离子/中性用于等离子反应器

Quantum能量被解决的栅栏的水晶微量天平是测量离子比的一台独特的仪器与击中在等离子反应器里面的中性表面，有时称离子中立分数。 这台最尖端的仪器也测量沉积率、离子能量、离子涨潮和偏压。 在到达表面的中性和离子之间的比率，假如是偏心或着陆由这个开创性系统现在是可测量的。 Quantum唯一传感器测量到达在等离子反应器里面的表面的离子中立分数或涨潮电离分数。它在等离子反应器里面的所有地点也测量沉积率、离子能量、离子涨潮和偏压。Quantum唯一传感器或栅栏的水晶微量天平是用途广泛在横跨产业和研究的许多区段，例如等离子证言，涂层，等离子飞溅，PECVD、蚀刻和离子束。Quantum唯一传感器提供涨潮电离分数，是重要的在多数等离子应用的测量，但是到目前为止是非常难达到。电离比率发现在研究更新过程，证实新的食谱和模型的应用，并且可以用于新工具和等离子过程的发展。