单传感器特性描述工具 Vertex

等离子离子能量分布

顶点单传感器测量离子能量分布作为高宽比撞击等离子反应器内表面的函数。 这款独特的等离子体表征仪器还可以测量离子能量、离子通量和偏置电压。 离子击中特征底部的角度可以通过离子能量分布作为纵横比函数来确定，用户可以在等离子反应器中特定位置监测蚀刻轮廓的质量。 顶点单传感器测量等离子体表面上的高宽比、离子能量、离子通量、负离子和 Vdc 等函数的离子能量分布。 Vertex Single Sensor 正越来越多地应用于工业和研究领域，如等离子体蚀刻、离子束和等离子体溅射，用于等离子体表征和等离子体相互作用分析。 Vertex Single Sensor 在确认模型、开发新工艺以及使用等离子体、等离子体工具设计和等离子体研究的实验中节省了用户宝贵的时间。 Vertex Single Sensor 安装在 19 英寸机架式电子装置、真空馈通装置以及位于等离子体或光束室内的任何位置的传感器支架中。 该位置甚至可以是 RF 或 DC 供电的电极，并且可以使用可更换的按钮探头传感器。 电子设备连接到笔记本电脑或 PC，并使用 Vertex 智能软件套件。 顶点单传感器有多种从 50mm 到 450mm 的支架选项，取决于用户的应用。 用户可以选择 50mm 传感器，并物理移动传感器在不同的腔室位置进行测量。