多传感器分析仪 Semion

用于等离子反应器迟滞电场实时

Semion Multi Sensor 减速场能量分析仪 (RFEA) 使用大量等离子测量传感器测量撞击表面的离子能均匀性。 这款前沿的阻速场能量分析仪 (RFEA) 还测量等离子体室内任何位置的离子通量、负离子和偏置电压的均匀性。 Sim@@ on Multi Sensor 阻速场能量分析仪 (RFEA) 允许用户实时更改其等离子输入参数，如功率、压力、频率和化学等，以找到其应用的最佳离子能量分布和离子通量的均匀性。 S@@ emion 多传感器延缓场能量分析仪 (RFEA) 测量等离子体腔内基板位置的离子能量均匀性、离子通量均匀性、负离子均匀性和 Vdc。 Semon Multi Sensor 主要用于研究工业等离子体应用中的晶圆均匀性，但也发现研究中的应用。 半导体界的用户关注离子与基材相互作用的均匀性，这适用于涂层、蚀刻、等离子溅射、PECVD 和离子束应用。 随着基材尺寸的不断增大，等离子体均匀性变得越来越重要。 Simon Multi Sensor 减速场能量分析仪 (RFEA) 有助于节省时间确认等离子体均匀性模型，开发新的均匀等离子体工艺和使用等离子体的实验，设计大型等离子体工具和等离子体研究。