晶圆计量系统 MESO™

用于半导体

MESO 计量解决方案 MESO 计量系统是应对光学计量领域众多挑战的一站式解决方案。车间测量可确保在生产线旁对平板光学器件进行质量控制测试和现场过程控制。 独特的仪器可在多个不同波长下进行测量，不会产生色差，并可在不降低分辨率的情况下对光学器件的整个范围进行表征。 MESO™ 充满创新： - LIFT 增强型高波前传感分辨率 - 正在申请专利的 POP 程序，用于测试（薄）平面平行光学器件 - Spot Tracker™ 专利技术提供倾斜和波前的绝对测量。 主要特点 对振动不敏感 设计波长测试 对样品背面的反射不敏感 应用 MESO 是控制以下方面的完美测试工具： 平行光学 筛网 滤光片、分色镜 反射镜 分光镜 窗口 基板 角立方体 晶体 棒、盘 玻璃晶片 显示器 机加工表面 挡风玻璃 棱镜 大型透镜 光学系统 扩束器 MESO 计量系统的主要参数 水平或垂直集成 光学变焦范围从 1.5'' (38.1mm) 到 6'' (152mm) 测试波长从 405 纳米到 820 纳米 680 x 500 个相位点分辨率 最短采集时间 27us 主要参数 触摸屏界面控制 脚本测试程序引导用户完成所有步骤 自动控制多达 4 个嵌入波长 自动控制测试直径 完整的自动测试报告 符合 ISO10110 标准 多格式数据导出