凹面镜子 SHARPeR

高精度

Sharper 是一个欧洲之星项目，旨在为同步加速器波束线、EUV 光刻系统和望远镜所需的高质量光学元件开发一个新的高精度自动计量平台。 米尺度 X 射线反射镜的斜率误差精度优于 50nrad rms。 该系统将包括三个主要要素： • 具有旋转和倾斜阶段的高度稳定和可重复的运动平台 • 绝对精度为 λ/1000 rms 的高精度波前传感器 • 用于高精度结果的高级拼接算法 新的超高精度 Shack-Hartmann 波前传感器集成在光学头上，并配有专用运动平台，以提供二维坡度/高度映射。 测试表面可以水平或垂直方向取向，以匹配实际使用的配置。 客户可以指定纵向（扫描方向）和横向行驶范围，以扩大表征区域的范围。 此外，还可以将旋转轴和倾斜轴添加到运动系统中。 这使得用户能够自动翻转受测光学元件，而不会因人工干扰干扰干扰测量环境。