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波前传感器 HASO EUV
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产品介绍
HHG, 同步辐射, EUV-FEL, 新一代光刻技术
HASO EUV为超短波长光束表征、调整和校准提供了无与伦比的质量、精度和易用性。
- HHG、同步辐射和EUV-FEL的光束校准和表征
- 光束线中的镜子对准，Bender优化
- 稳定性表征
- 施瓦茨柴尔德望远镜的对准和特性分析
- 区位表征
- 等离子体科学
WAVEVIEW计量软件，包括150种功能
+ 延伸的PSF、MTF和Strehl比值功能
+ 可选的SDK用于接口
WAVETUNE自适应光学软件
+ 适应性光学应用的扩展
+ 可选的SDK用于与任何定制的系统对接
兼容Windows10
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