氮化钽(TaN)具有优良的物理、化学和机械性能(如高硬度、耐磨性、化学惰性、热稳定性和低温电阻系数),在中国被广泛应用于耐磨涂层、薄膜电阻和集成电路扩散屏障等领域。
分子量:194.9
密度:13.4g/m3
颜色:灰色
熔点:3090摄氏度
氮含量:≥6.8
沸点:4800℃。
EINECS (EC No.):234-788-4
氮化钽(TaN)具有优良的物理、化学和机械性能(如高硬度、耐磨性、化学惰性、热稳定性和低温电阻系数),在中国被广泛用于耐磨涂层、薄膜电阻和集成电路扩散屏障等领域。
1.高纯度:最高纯度可达到99.99%,XRD检测无杂质相。
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