压差流量计 D700T

质量用于气体24Vdc

D700T 是专为关键半导体制造工艺设计的性能最佳的压力敏感型质量流量模块。D700T 采用了 HORIBA CRITERION 压力式流量测量和控制技术，具有业界领先的可重复性和精确性。此外，D700T 的独特之处还在于采用了获得专利的先进流量控制算法和双阀结构，使客户的气体输送系统能够解决多重挑战。 ≤ 100 毫秒的全面快速稳定时间（设定、升压和降压） 入口和出口压力不敏感性能 先进的故障检测功能可诊断压力传感器偏移、阀座泄漏和流量精度变化 重复精度在 0.15 %S.P. 以内 最佳精度规格为 0.45 %S.P.*（标准：0.8 %S.P.）。 更宽的工作温度范围（15-60 °C）