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热质量流量计 D700uF用于气体PFA
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产品规格型号
- Vvv技术
- 热质量
- 液体类型
- 用于气体
- 材质
- PFA
- 工艺温度
最多: 45 °C
(113 °F)最少: 15 °C
(59 °F)- 工艺压力
最多: 4.12 bar
(59.76 psi)最少: 2.4 bar
(34.81 psi)
产品介绍
D700uF（微流量）专为 ≤ 5SCCM 流量应用而设计。
在高纵横比工艺中，≤ 5SCCM 流量控制至关重要。
专用组件和新开发的内部低流量标准可实现低至 0.025SCCM 的高精度流量控制。
低至 0.025SCCM 的流量控制能力
精确的调谐气体控制，提高工艺可调性
≤ 100ms 升压响应和 MFC 间偏差控制
提高生产率和工艺性能
内部流量计量
所有制造产品性能可靠
状态监控功能
提供更多内部数据，实现更智能的故障预测
通过 PFA 喷嘴实现更好的阀门关闭和抗腐蚀性能
坚固耐用，减少颗粒风险，缩短停机时间，优化产量
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