粒子探测系统 PD Xpadion

满足未来需求的下一代检测平台 PD-Xpadion是HORIBA粒子检测产品系列的最新一代产品。基于创新的模块化平台设计，PD Xpadion是满足光刻和掩膜生产过程中掩膜和微粒检测的当前和未来需求的正确工具。工厂自动化，结合HORIBA的核心技术套件，允许用户扩展PD Xpadion系统，不仅包括粒子检查和检测，还包括拉曼分析的粒子表征，粒子膜厚度和均匀性，以及粒子健康监测工具。 特点 通过利用各种光学系统的组合，可调节检测灵敏度 OHT、EFEM、多端口、多槽的适应性 能够重新分析检测数据，以加快检测配方的优化 与其他HORIBA传感器产品如拉曼光谱和椭圆仪的集成选项 减少错误检测的功能 创新的软件，提高了实用性