Micropole systemは世界最小クラスの質量分析計です。9つの四重極部で構成される独自構造のセンサは、ユーザ自身で簡単に交換可能、センサに付随するパラメータを入力するだけで校正は必要ありません。一般的な質量分析計よりも低真空(高圧)領域で動作し、追加の設備が不要です。真空チャンバのコンディション管理やプロセスモニターに最適です。
業界最小クラス
他社比20分の1の大きさ、センサ部わずか5cmのサイズ。装置組み込みに最適です。
独自構造センサ
16本の電極ロッドによる9つの四重極部を備え、最小サイズながらも高感度を実現。
低真空(高圧)動作
全圧0.5Paまでの計測(2-65 m/zセンサの場合)ならば、追加で差動排気システムを準備する必要がありません。
ユーザーによるセンサ交換が可能
機器の分解を必要とせずに、校正されたフィルターを現場で簡単に交換できます。
通信
付随する専用ソフトウェアをインストールした1台のPCからRS-485通信を介して、8台まで接続可能です。また、装置組み込みに適したアナログ入出力も備えています。
専用ソフトウェア
QL-SG02向けに開発されたユーザーフレンドリーなMicropole ScannerTM 2ソフトウェアは、QL-SG02制御、データの取得・可視化・分析が可能です。