质量流量调节器 GR-511F

用于气体

GR-511F可以控制用于冷却由静电卡盘系统固定位置的晶圆背面的气体。 GR-511F的稳定性和准确性使其成为控制晶圆冷却系统中氦气和氩气流量的理想选择。 特点 压力控制更加稳定和精确 质量流量传感器（可选）。 适用于各种配件 符合RoHS标准 应用实例 在下面的例子中，GR-511F正在控制用于冷却由静电卡盘系统固定位置的晶圆背面的气体。