热质量流量分歧器 FS-3000

FS-3000 结合了 HORIBA STEC 质量流量控制器（MFC）和 MuCube（主控制器）的功能。通过配备 HORIBA STEC 专有控制算法的 MuCube 控制 MFC，FS-3000 实现了稳定的分流控制。 控制算法通过控制流量比实现稳定的分流控制，同时利用 HORIBA STEC 控制优化技术控制 FS-3000 上流压力。此外，即使分流比改变，控制算法也能实现对分流的高速响应。 提高可扩展性、维护性能。FS-3000 可通过高速信号处理分离多达 15 个通道。若 MFC 出现故障，仅需更换故障从机即可。 灵活响应所需规格 FS-3000 支持混合气体在内的多种气体。此外，FS-3000 还支持 RS-485、DeviceNet 等用户接口。