热质量流量计 SEC-Z700S

质量用于气体紧凑型

SEC-Z700S 系列配备了新开发的热传感器和压力补偿功能，可实现稳定的流量控制。集成压力测量功能降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。 新功能简化了供气系统。典型的多腔室气体管线具有管线调节器、压力传感器和过滤器，以避免由压力波动引起的质量流量控制器串扰现象。 SEC-Z700S 系列可以不受上流和下流压力的影响，提供稳定的流量控制。提供流量输出、温度和压力读数。 基本特征 多气体/多量程功能，客户可以更改气体类型和满量程流量 稳定控制气流，不受上流和下流压力波动的影响 集成多重显示 超洁净设计：金属隔膜，全不锈钢 SUS-316L 和抛光表面处理（标准） 尺寸紧凑，50 SLM 以内采用相同的安装尺寸 信号兼容：支持 EtherCAT 和 DeviceNet 通讯模式 主要特征 确保 1% 设定点精度（流量≥5%） 高重复性（≤±0.15% 设定点/流量≥5%） 范围控制广（0.5-100% 满量程） 可调响应（300ms≤t≤1000ms） 高操作温度（15-60℃） 低阀座泄漏（≤0.1% 满量程/#01-#06） 高耐腐蚀性设计