热质量流量计 D700WR

用于气体数码

D700WR 安装了一个新的节流器，专为大范围控制应用设计，基于 CRITERION™ 技术，具有高精度性能。D700WR 可将流量控制在全量程范围的 0.1%，帮助用户优化气体输送系统的灵活性。例如，如果系统安装了多个 MFC 用于高、低流量控制，用户可以减少 MFC 的数量，在同一位置使用另一个 MFC 用于不同的目的。 0.1～100% 宽范围控制和高精度低流量 为流程优化提供灵活性 ≤ 500ms 递增响应 提供高生产力和更大的过程性能 零故障稳健的 CIP 压力传感器 减少大批量生产的停机时间和人工成本 10 倍更好的阀门关闭和耐腐蚀性的 PFA 喷嘴 鲁棒性和较小的颗粒风险，减少停机时间和优化产量 状态监控功能 为更智能的故障预测提供更多的内部数据 状态监控功能的输出项 流量/压力调零计数 阀门驱动计数 记录最大/最小P0,P1,P2压力 最大/最小块温度记录 总时间超过/低于压力规格 总时间超过/低于温度规格 总工作时间 总控制时间 总流动时间(每个校准实例) 总流量(每个校准实例)