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热质量流量计 D700MG质量用于气体数码
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产品规格型号
- Vvv技术
- 热质量
- 类型
- 质量
- 液体类型
- 用于气体
- 其他特性
- 数码, 精准
- 质量流量
最多: 0.1 l/min
(0.0264 us gal/min)最少: 0 l/min
(0 us gal/min)- 工艺温度
最多: 80 °C
(176 °F)最少: 0 °C
(32 °F)- 工艺压力
最多: 3.5 bar
(50.76 psi)最少: 1.1 bar
(15.95 psi)- 重复精度
最多: 0.3 %
最少: 0.02 %
产品介绍
关键的半导体制造过程不断要求精确的气体流量控制设备，以实现未来的创新，以及领先的存储和逻辑设备的实验室到工厂的过渡。HORIBA公司提出了新的基于压力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型号，以支持客户的挑战。
工具上气体和全尺寸配置更改 *仅 EtherCAT
为流程优化提供灵活性
100 ms 响应速度和mfc到mfc的偏差控制
提供高生产力和更大的过程性能
小流量 MRMG 功能（Bin101 - Bin105）
为需要小流量的工艺提供灵活性
PFA 喷嘴具有更好的阀门关闭和耐腐蚀性能
稳定性性和较小的颗粒风险，减少停机时间和优化产量
状态监控功能
为更智能的故障预测提供更多的内部数据
状态监控功能的输出项
流量/压力调零计数
阀门驱动计数
记录最大/最小P0,P1,P2压力
最大/最小块温度记录
总时间超过/低于压力规格
总时间超过/低于温度规格
总工作时间
总控制时间
总流动时间(每个校准实例)
总流量(每个校准实例)
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