热质量流量调节器 SEC-Z700X

用于气体数码紧凑型

SEC-Z700X 系列配备了可靠的热传感器和压力补偿功能，可实现稳定的流量控制。集成压力测量降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。 压力补偿 新功能简化了供气系统。典型的多腔室气体管线具有管线调节器、压力传感器和过滤器，以避免由压力波动引起的质量流量控制器串扰现象。SEC-Z700X 系列可以不受上流和下流压力的影响，提供稳定的流量控制。提供流量输出、温度和压力读数。 多气体/多范围功能 客户可以更改气体类型和满量程流量。 可变 PID 功能实现整个流量范围内的高速响应（1 秒内） 紧凑型气体管线 无需调节器、传感器和过滤器 稳定控制气流，不受上流和下流压力波动的影响。 集成入口压力传感器 集成多重显示 确保 1% 设定点精度 超洁净设计：金属隔膜，全不锈钢 SUS-316L 和抛光表面处理（标准） 尺寸紧凑 50 SLM 以内采用相同的安装尺寸 信号兼容 模拟/RS485 数字模式，DeviceNet™ 通讯模式 网络功能 数字信号控制