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产品介绍
HORIBA 销量人气的加热汽化系统为满足目前高科技工业的需求而开发。该系统可在无需载气的情况下进行稳定的材料汽化,例如 TEOS(流量 600 SCCM)和 H2O(流量 2 SLM)。为方便操作,所有设备维护都可以在设备前端进行。 大流量气化 LSC-A100 提供 TEOS 600SCCM 和 H2O 2SLM 等材料的稳定气化 所有设备维护都可以在设备前端进行 可选掌上型 PDA 用于监控 LSC 的运行状态,并记录和分析运行日志
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Vaporizers
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