热质量流量调节器 SEC-Z500X series

用于气体数码模拟

这是 HORIBA 最畅销的数字式质量流量控制器。它具有多量程/多气体功能，用户能够快速方便地现场更改气体类型或满量程流量。 该质量流量控制器具有高精度（+/- 1.0% 设定点）、压电阀、高速响应和全金属特性，可提高制程良率，简化零件管理。支持数字/模拟、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通信模式。 高精度 ±1.0% 设定点 该质量流量控制器的线性度由多项式近似曲线补偿，并实现在所有流量控制范围内的高精度。为提高实际气体精度，不同工艺气体的标定数据由 HORIBA STEC 公司的标准气体测量系统测量。 高速响应 装配“可变 PID 系统”，可在任意两个设定点之间实现 1 秒响应。可变 PID 根据流量点设置不断变化。在满量程流量和气体发生变化时优化 PID 系数。 多气体/多量程解决方案 配置软件可以快速方便地更改规格。一个重要特征是无需从气体控制面板或管道上拆除质量流量控制器，即可进行更改。减少了所需的备用质量流量控制器的数量，节省时间和成本。 SEC-Z500X 质量流量控制器适用于各种应用以及半导体制造。阅读我们的案例分析，了解 SEC-Z500X 如何改善国家海洋和大气管理署的成果