光谱分析椭偏仪 Auto SE

概要 Auto SE, Simple Thin Film Measurement ToolAuto SE是一种新型的按键式全自动薄膜测量分析工具，仅需简单的几个按键操作，即可完成全自动测量和分析。 仅几秒钟即可完成样品分析，并提供完整的样品堆叠特性报告-包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性。 Auto SE 是一种高性能系统，它包括XYZ自动样品台、测量点实时成像和光斑尺寸自动选择功能，其各种各样的附件可满足用户对多种应用的需求。 Auto SE借助完整的操作向导，自动检测并诊断问题、同时提供完整的操作指南，实现对故障进行轻松处理。 便捷的操作性能和大量自动化特性，使得 Auto SE 成为一种可用于常规薄膜测量和质量控制的理想设备。 特征 薄膜分析变得轻松简单 高性能系统 独一无二的光斑可视系统（专利技术） 多种附件选择 智能诊断