甲烷分析仪 GA-360E

氧气二氧化碳一氧化碳

概要 GA-360E/F360E系列是提供痕量超离频的敏感，极为准确，连续监视在气体包含的杂质单位的联盟(N2， O2，他， Ar、H2和空气)用于半导体制造过程。 运用十字架模块化方法， GA-360E/F360系列单位没有零的漂泊由于对零气和普通的时间上比较的同时分析并且提供长期，稳定的测量价值。 19英寸机架为容易的系统升级做。 GA-360E/F360系列分析仪是非常合适的为使用在半导体气体生产设施。 GA-360E系列产品文学 特点 单位用在一组分分析能力之内的一个最大二组分作用装备CO、二氧化碳和CH4的并且有能力在二个组分的集中的同时数字显示上。 单位不使用十字架模块化方法并且有零的漂泊，从而提供长期，稳定，连续的显示价值。 需要的排除对光学调整的为容易的维护做。 流程容量(压力)，砍刀马达(电磁阀)，偶然火警(GA-360E)和电子来源警告系统的自我监督作用提供用户以快的戒备给所有不规则性。