Hobbbite® 晶圆(康宁 Eagle XG 晶圆)
可以提供给康宁 Eagle XG 晶圆,
能力取决于材料和基材尺寸,并根据要求提供特定晶圆的实际能力。
属性测量
直径 φ2″、φ3″、φ4″、φ5″、φ6″、φ8″、φ12″
厚度 0.2mm、0.4mm、0.5mm、0.7mm、1.0mm、1.5mm、1.5mm、±0.02mm)
尺寸公差 +/-0.02
厚度公差 +/-5μm
厚度变化 T1m
英寸
表面粗糙度 (RMS) <1.5nm
刮伤和Dig 5/2
颗粒尺寸 <5μm
弓 /warp<10μm
以下描述了我们几个关键工艺中的多功能性。 有关流程的详细信息,请随时与我们联系以获取更多信息。
晶圆制造工艺
形状切割
薄片,厚片进行水喷射,块被钢丝锯,从而开始使用晶圆 “空白” 的工艺。
CNC 边缘
每个晶圆在精密 CNC 边缘磨削站上单独进行边缘处理。
研磨
根据需要,晶圆被研磨至精确的厚度或平整度。
抛光
双面商业抛光可消除表面下的损伤,超级抛光可创造原始的表面。 清
洁
我们将超声波和超声波技术结合在多条清洁线上,直接进入 100 级洁净室。
检查
在 100 级光学洁净室,我们在适当的照明条件下检查各种质量水平。
包装
所有晶圆都装在预先清洁的容器中,双袋装,真空密封在 100 级洁净室内。
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