电子显微镜 NE4000

用于分析冷场发射CCD

日立 NE4000 nanoEBAC 是一种基于电子束的探测系统，用于微电子器件互连、材料和元件的电特性分析、EBAC 分析和成像。 电子束吸收电流（EBAC）技术提供了一种快速有效的方法，无需直接探测低层，即可识别互连器件上的开路、高电阻和短路。 EBAC 技术通过电子束穿过电介质层到达低层金属化层，以吸收电子束电流。FESEM 的电子束加速电压可控制穿过介电层的探测深度或穿透水平。在暴露的上层金属化层上放置一个探针，以完成电路并让电子流过互连层。 通过使用双探针和日立专利的差分 EBAC 放大器，可以观察塞贝克效应导致的高电阻和短路。 用户友好型设计 - 直观的 GUI（图形用户界面），具有各种图像和颜色处理功能。 - 通过集成的腔内 CCD 摄像系统实现探头的粗略定位。 优质图像质量 - 通过日立获得专利的高性能 EBAC 放大器提供高质量的 EBAC 图像。