扫描电子场发射显微镜 SU8600

用于分析3D冷场发射

超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列 随着快速数据采集和数据处理技术的发展，电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量，而且重视其采集过程的时代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术，同时还大大提升了高通量、自动数据获取能力。 超高分辨成像 日立的高亮度电子源可保证了即使在超低着陆电压下，也可获得超高分辨的图像。 0.8 kV电压条件下观察RHO型沸石的实例。左图为颗粒整体的形貌,右图为放大图像，颗粒表面细微的台阶结构清晰可见。低电压观察对于减少电子束损伤和获取表面形状信息较为有效 高衬度的低加速电压背散射图像 3D NAND截面观察; 在低加速电压条件下，背散射电子信号能够明显的显示出氧化硅层和氮化硅层的衬度差别。 快速BSE图像：新型闪烁体背散射电子探测器(OCD)* 由于使用了新型的OCD探测器，即使扫描时间不到1秒，也仍然可以观察到Fin-FET清晰的深层结构图像. 先进的自动化功能* EM Flow Creator 允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程。EM Flow Creator将不同的SEM功能定义为图形化的模块，如设置放大倍率、移动样品位置、调节焦距和明暗对比度等。用户可以通过简单的鼠标拖拽，将这些模块按逻辑顺序组成一个工作程序。经过调试和确认后，该程序便可以在每次调用时自动获得高质量、重现性好的图像数据。