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- Hitachi High-Tech Europe GmbH/日立
透射电子显微镜 SU9000II用于分析用于研究BF-STEM
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产品规格型号
- 分类
- 透射电子
- 专业应用类型
- 用于分析, 用于研究
- 观测技术
- BF-STEM, DF-STEM
- 配置
- 落地式
- 电子源
- 冷场发射
- 探测器类型
- 二次电子, 背向散射电子
- 其他特性
- 高清晰度, 用于平面样本, 用于半导体, 用于抛光样本, 用于空间成像, 纳米技术, 用于石棉识别, 晶圆用, 用于显微成像, 超高解析度
- 倍率
3,000,000 unit
- 空间分辨率
0.4 nm, 0.8 nm, 1.2 nm
产品介绍
超高分辨率场发射扫描电子显微镜 SU9000
专门为电子束敏感样品和需最大300万倍稳定观察的先进半导体器件，高分辨成像所设计。
• 新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。
0.4 nm / 30 kV (SE)
1.2 nm / 1 kV (SE)
0.34 nm / 30 kV (STEM)
• 用改良的高真空性能和优异的电子束稳定性来实现高效率截面观察。
• 采用全新设计的Super E x B能量过滤技术，高效，灵活地收集SE / BSE/ STEM信号。
