Hinds仪器公司推出了最新和最先进的穆勒矩阵测偏仪系统,用于要求在区分特定的、低水平的穆勒矩阵元素方面具有超高灵敏度和可重复性的挑战性研究和工业过程应用。新的Exicor®XT系列4PEM穆勒旋光仪系统,由我们的应用研究小组与纽约大学的Kahr小组联合开发,已经为光学研究、晶体研究、平板显示器和光学光刻应用的领先客户提供了一流的解决方案。这包括需要测量的应用。
√ 所有16个穆勒矩阵元素
√ 低水平的线性和圆形延迟,它们之间的相互作用最小
√ DUV光的所有6个偏振参数(线性延迟-大小和角度;圆形延迟-大小;线性消减-大小和角度;以及圆形消减-大小),它们之间的相互作用最小。
√ 线性延缓和圆形延缓,它们之间有明显的相互作用。
特点。
-同时测量所有16个穆勒矩阵元素
-所有偏振参数的确定和去偏振的估计
-最高的可用灵敏度
-实验室级别的可重复性
-可根据要求定制感兴趣的偏振特性
-最小的波长限制(从DUV到IR)。
-正常入射和斜入射角的能力
-落地式或台式设计,具有灵活的平台,可添加定制的部件支架
-适合生产过程的测量周期时间
-具有广泛数据分析功能的软件包
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