双折射测量系统 Exicor® 500 AT

3D零件

Exicor 500AT是全新的框架设计，取代了Exicor 450AT系统。这个Exicor®双折射测量系统系列的新 "重型升降机 "带来了新的效率和改进的坚固性，以适应更大和更多的样品。该型号是测量光刻应用的厚透镜坯件以及其他大型和重型部件（最大500mm X 500mm和400+mm厚）的理想选择。500AT改进了经过验证的框架和运动控制部件，这些部件是Hinds Instruments Exicor 450AT系统的标志。 新的设计有一个完全向前的简易平台，使样品测量区域完全清除样品三面和上方的所有潜在障碍。较大的平台还允许在批量扫描应用中一次装载多个部件，以及为生产线自动化集成应用提供更清晰的通道。通过在500AT上添加可选的Exicor Zones™软件，系统可以被设置为执行自动程序，单独扫描每个部件，并为每个 "区域 "分配单独的文件名。该软件允许用户开始执行例程，并让它运行多个班次、过夜或甚至更长时间（取决于应用）而无需干预。 有两种测量范围可供选择（高灵敏度和扩展范围），该系统很适合解决您的大型样品的苛刻要求。可选的高速扫描包使高空间分辨率的扫描（<1mm的网格间距）成为现实。 特点。 重型自动XY平台 双折射参数的二维和三维图形显示