Langmuir探头 ESPion

测量等离子体电位用于分光计

用于等离子体诊断的先进朗缪尔探头 Hiden ESPion探头对I-V等离子体特性的常规监测提供了与等离子体稳定性和可重复性有关的直接信息。等离子体参数的自动实时推断提供了有关等离子体特性的详细信息，可用于特性分析和均匀性监测。 等离子体表征 等离子体蚀刻和ALE HiPIMS 类金刚石碳（DLC）涂层 脉冲激光沉积（PLD）涂层 SiBCN薄膜的直流磁控沉积 ESPion系统采用Orbital Motion Limited（OML）和Allen Boyd Reynolds（ABR）作为标准等离子体分析模型。 Hiden的自动Z-drive提供了整个等离子体体积的空间分辨率测量。标准的Z-drive平移选项是：300、600和900毫米。 每秒15次扫描的采集速度，带有D-O-E接口，用于自动、半自动或手动分析 海登是无源射频补偿的先驱者 ESPion是所有市售设备中阻断阻抗最高的设备 4.在13.56MHz时为25MOhm，与100kOhm相比。 用于高温等离子体操作的气冷多导体链 气冷式多电感链可供用户更换，以便调谐到其他频率 参考探头可补偿低频效应 例如，等离子体电位的变化（如阳极氧化室壁）或噪音（如电源）。 ESPion是所有商业探头中脉冲等离子体规格最快的。 ESPionSoft包含所有必要的门控电路作为标准配置 300、600或915毫米的自动线性驱动选项 联锁隔离阀、90°探头、组合线性-旋转驱动可供选择 自我清洁循环，限制探针尖的污染