一个多技术的超高压表面科学系统选项,提供XPS、UPS、AES、SAM、ISS和LEIS,安装在Hiden SIMS工作站上。
X射线光电子能谱是一种高度互补的技术,提供原子组成和化学状态结合的信息。XPS可以用来量化高浓度,因此是为灵敏度更高的SIMS技术提供校准点的理想选择。
UHV表面科学
海登SIMS工作站的两部分室是专门为安装XPS升级而设计的,使用了SPECS®的最先进的部件,并与倾斜的样品架一起,允许在同一个UHV平台上同时使用XPS和SIMS技术,而不会有任何影响。
PHOIBOS 150 HV分析仪系列是高能XPS分析(HAXPES)的首选仪器。高压电源和高度稳定的分析器设计使光发射的能量达到7千伏,涵盖了大多数现有的X射线光源和同步辐射设施。
该分析仪可以在高压模式下运行,并在所有相关的分析模式下运行,如(M)XPS、UPS以及AES、ISS和LEISS。它的设计和模块化的辅助硬件使该分析仪成为市场上用途最广的PES分析仪。它可以很容易地与所有可用的SPECS检测系统进行升级。
集成的1D-DLD检测器是目前性能最好的检测系统。对电子信号的直接检测产生了每秒的定量计数(cps)。强大的电子装置可以获得超快的能谱快照测量。
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