质谱光谱仪 XBS

四极快速数据采集

用于MBE沉积应用中的多源监控系统 分子束源需要精确控制，以实现可重复的生产质量的薄膜生长。海顿的XBS（交叉束源）系统提供了对多个源的原位监测，并有实时信号输出，以实现对沉积的精确控制。海顿的XBS是用于分子束质谱分析的一个很好的工具。 MBE监测和控制 分子束研究 多束源分析 高性能的RGA 解吸作用 脱气研究 烘烤循环 工艺气体污染物 海登XBS RC系统是一个四级杆质谱仪，设计用于同时监测多个光束源，并独特地提供了通过70°锥体的光束接受，横跨四级杆轴。 光束接受孔为每个特定的加工室源位置单独配置，制造成可替换的插件，以便在加工室改变的情况下进行追溯修改。 XBS系统的高灵敏度和快速数据采集为控制每秒0.01埃的生长速度提供了信号。 高灵敏度，增强了从100%到5ppb的检测能力，质量范围达到510 amu 增强的长期稳定性（24小时内高度变化小于±0.5%）。 横梁式离子源，横轴上的光束接受度为+/- 35°。 用于软电离和外观电位质谱的离子源控制 高质量传输的增强灵敏度，自动质量标尺校准 2毫米的光束接受孔径 - 根据用户的具体应用进行配置 通过纯射频预过滤阶段增强抗污染能力