质谱光谱仪 HALO 201 MBE

工艺流程监控用于气体分析

用于分子束外延应用的气体分析系统 海顿HALO系统设计用于RGA、气体分析和过程监控应用，包括泄漏检测、趋势分析和真空测量。 半导体生产 燃料电池 MBE专用分析仪由兼容材料制成，专为在MBE环境中长期使用而设计，作为标准配置，包括用钼线代替铜线和抗污染离子源护罩。 用钼配线代替铜配线，提高RGA系统在MBE环境中的使用寿命 抗污染的离子源护罩 双法拉第/通道板电子倍增器 最小可检测分压至2 x 10-13 mbar 在烘烤过程中用于RGA操作的热扩展器选项