用于检查容器中存在的或从一个过程中演变出来的成分的系统
部分压力测量范围从UHV到0.01 Pa(10-4 mbar)。
带差压泵的采样系统扩大了真空过程监测的采样压力范围,必要时还可以进行气体分析应用。
所有的海顿残余气体分析仪都经过应用测试和校准,以提供最高质量的性能,它们有3年的保修和终身服务支持。
残余气体分析
泄漏检测
解吸
放气研究
烘烤循环
泵的性能
工艺气体污染物
薄膜光学涂层
质量范围选择:50、100、200、300或510 amu。
检测器选项为高真空到超高真空的灵敏度,UHV。
稳定性(24小时内高度变化小于±0.5%)。
通过RS232、USB或通过以太网LAN的多个系统进行MASsoft控制
快速访问柱状图、趋势分析和模拟峰值显示
混合模式扫描,如趋势、直方图和模拟峰在多个窗口中显示
同时实时显示图形和表格的趋势分析数据
鼠标控制下的峰高识别光标
实时背景减去,自动调整质量比例
数据导出为ASCII格式,并可导出至所有Windows设备
netMASsoft,一个板载的网络服务器,用于从您的网络浏览器进行RGA操作
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