质谱光谱仪 EQP series

四极用于分析

血浆研究的系统 用于表征等离子体的高性能联合质量和能量四极杆质谱仪。 EQP-6 300或510阿姆质量范围的6毫米三滤四极杆质谱仪，用于广泛的等离子体研究应用。 EQP-9基于9毫米三滤四极杆的系统，具有最广泛的质量选择范围。 50到5000阿姆的选择，用于高稳定性测量和离子团分析。 EQP-20具有海登的20毫米三滤四极杆，I区/H区可切换，峰宽为0.003阿姆，质量范围为200阿姆，具有单位质量分辨率，用于氢同位素等离子体的表征。 离子和自由基的分析 蚀刻/沉积研究 离子植入 激光烧蚀 残余气体分析 泄漏检测 等离子体电极耦合 cvd / mocvd / ald 海顿等离子体探头测量一些关键的等离子体参数，并提供与等离子体反应化学有关的详细信息。 对等离子体离子和中性物种的反应动力学的详细了解在开发先进的表面工程工艺（如HIPIMS）中起着关键作用。 整体电子轰击离子源提供了对中性物质的分析，并且在增加了EAMS（电子附着质谱）电子附着模式后，可以分离和识别负电子的自由基物种。 所有EQP系列仪器都包括一个高传输45°扇形场能量分析器，用于正负离子能量分析，最高可达1000eV。