质谱光谱仪 HMT

四极用于工艺监控

用于真空诊断和过程监控的双模式RGA系统 海登HMT四极杆质谱仪是一个独特的双模式RGA系统，能够在高达5×10-3mbar的压力下运行，而不需要差动泵。在这个压力下的操作是通过一个特别设计的离子源/四极过滤器组合和软件来实现的，该软件修正了丰度的非线性。独特的高压规格使HMT成为过程监测应用的理想选择。 残余气体分析 真空处理 接近大气压的XPS，APXPS 薄膜光学镀膜 cvd / mocvd / ald HMT用于真空工艺分析和残余气体分析，对工艺运行状况检查和检测意外污染物的过程分析至关重要。HMT系统也可以在RGA模式下运行，与传统的四极RGA相同。双法拉第/电子倍增器探测器提供10-13mbar范围内的部分压力灵敏度。可以监测的典型工艺包括CVD、蚀刻、PECVD和PVD。一个用于故障排除和监测的过程RGA工具。 HMT模式用于高压操作至5×10-3毫巴（最小可检测分压5×10-8毫巴）。 RGA模式用于在P < 10-4 mbar时的高灵敏度操作（最小可检测分压2×10-11 mbar）。 100 amu质量范围，远程（PC）通过MASsoft专业PC软件控制界面 100 amu质量范围，通过MASsoft Professional PC软件提供远程（PC）控制接口 稳定性（24小时内高度变化小于±1%）。 通过MASsoft软件控制，通过RS232、USB或通过以太网LAN控制多个系统