创新的飞行时间四极杆SIMS系统
海登TOF-qSIMS系统是为广泛的材料的表面分析和深度剖析应用而设计的,包括聚合物、药品、超导体、半导体、合金、光学和功能涂层以及电介质,测量的微量成分可达到subppm水平。
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新的Hiden TOF,飞行时间分析仪增强了SIMS,为用户提供了高性能四极SIMS的最佳动态范围,以及飞行时间SIMS的平行数据收集和分子碎片分析的优势。
TOF-qSIMS的能力使高光谱成像成为可能,以实现空间分辨率的详细材料分析。
TOF-qSIMS系统提供了静态TOF-SIMS的综合能力,以及四极SIMS的高动态范围深度分析。
TOF-qSIMS工作站系统完全集成并优化了高性能的SIMS分析,包括一个多孔超高压室、TOF-SIMS分析仪、海登的MAXIM四极SIMS分析仪、IG20气体主离子枪、Cs金属离子枪和一个为适应最广泛样品范围而设计的样品支架。 高灵敏度的SNMS模式包括对冶金薄膜、导电和非导电氧化物以及其他合金材料和涂层的定量分析。SIMS增强设施,包括氧气淹没、电子电荷中和和真空烘烤,都是标准配置。
SIMS Mapper PC软件选项提供了对样品区域的二维和三维视图的映射能力。
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