次级离子化质谱光谱仪 Compact SIMS

用于分析测量快速

紧凑型SIMS--表面分析的一个设计上的突破 海登紧凑型SIMS工具是为快速和简单地表征层结构、表面污染和杂质而设计的，对正离子的敏感检测由氧主离子束辅助，并提供整个周期表的同位素敏感性。离子枪的几何设置为纳米级深度分辨率和近表面分析提供了理想的条件。 硅胶的污染 薄膜 光学涂层 电子材料 灵活的太阳能电池 海登紧凑型SIMS工具是为快速和简单地表征层结构、表面污染和杂质而设计的，对正离子的敏感检测由氧主离子束辅助，并提供整个周期表的同位素敏感性。离子枪的几何形状经过优化，是纳米级深度分辨率和近表面分析的理想选择。 一个旋转转盘使10个样品可以同时装入干泵真空室进行测量。该仪器占地面积小，特别容易使用，它拥有与功能齐全的海顿SIMS工作站系列相同的控制软件和离子枪系统，提供深度剖面、三维和二维图像以及质谱数据。MAXIM-600P检测器是基于高度可靠的海顿6毫米三重四极杆质量过滤器和脉冲离子检测。有电子枪选项可用于分析绝缘样品。 除了SIMS，Compact SIMS还有一个SNMS设施，对于高浓度元素的量化非常有用，如合金。