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立式自动仓储系统
用于小盒用于板材恒湿恒温控制

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产品规格型号

类型: 立式
应用: 用于小盒, 用于板材
其他特性: 恒湿恒温控制

产品介绍

这个自动存储系统是用于半导体的清洁物流系统，它存储和分拣晶圆FOUP、FOSB、POD和盒式。它可以以各种类型的形式实现，如室式、架式和其他适合不同半导体工艺要求的规格。规格环境清洁度：Class1 ~ Class1000 速度：1.5米/秒加/减速：2.5米/秒²。振动：不大于RMS 0.5 G 吹扫：在任何时候都要进行PN2吹扫环境控制: 湿度、温度、压力、氧气浓度

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此为机器翻译文本。 (查看英文原文)