室式炉

烘干清洁燃气

是一款通过远红外线(IR)加热器对OLED基板进行加热、烘干、焙烧的装备。在OLED制造工序中焙烧及清洗后用作烘干机使用的烘箱(Oven)。 作为OLED焙烧工序中最优质的装备，在世界市场中占有最大份额。具备卓越性能的远红外线加热器(IR Heater)与通风系统使高精度的温控与最优秀的脱气(Out Gasing)成为可能。是一款具备高清洁度(Class 10)、持久耐用性、节约安装空间、节省运营费用等诸多有点的设备。 而且还可以展现O2浓度控制等最新工序技术潮流。