橱柜式炉 LP扩散
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产品规格型号
- 配置
- 橱柜式
- 功能
- 扩散
产品介绍
是一种旨在形成结晶质硅太阳能电池的核心——Pn接合的设备，基于同一平台，实现P(因)加填料及B(硼)加填料的工序。
规格
POCl₃
高产量: 7,854 wafers/hr (2,400 wafers/boat)
循环时间: 110 min
运行时间: 99%
BBr₃
高产量: 3,600 wafers/hr (2,400 wafers/boat)
循环时间: 240 min
运行时间: 99%
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