ALD镀膜机 AlOx太阳能
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产品规格型号
- 方法
- ALD
- 应用
- 太阳能
产品介绍
采用热单原子层沉积(Thermal ALD)方式在晶质太阳电池晶圆正面蒸镀 Al2O3薄膜，形成保护层(Passivation Layer)，从而进一步改善效率的设备
规格
高通量：12,800片/小时 (1,600片/舟)
周期：30分
运行时间：97%
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Solar
* 显示价格为参考价，此价格不含税、不含运费、不含关税，也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。