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ALD镀膜机
AlOx
太阳能
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产品规格型号
方法
ALD
应用
太阳能
产品介绍
采用热单原子层沉积(Thermal ALD)方式在晶质太阳电池晶圆正面蒸镀 Al2O3薄膜,形成保护层(Passivation Layer),从而进一步改善效率的设备 规格 高通量:12,800片/小时 (1,600片/舟) 周期:30分 运行时间:97%
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