光学显微镜 C11222-16

检查近红外数码摄像机式

PHEMOS-1000 是一款高分辨率微光显微镜，它能通过探测半导体器件缺陷导致发射的微弱光和热来定位失效位置。由于 PHEMOS-1000 可与通用探测仪结合使用，因此您可以使用您已经熟悉的样品设置来执行各种分析任务。安装可选的激光扫描系统可以采集高分辨率图案图像。不同类型的探测器可用于各种分析技术，例如发射分析、热分析和 IR-OBIRCH 分析。PHEMOS-1000 支持从探针插座板到大型 300 mm 晶圆探针的各种任务和用途。 特点 • 可安装两个超高灵敏度相机 • 可安装多达 3 种波长的激光器和 EOP 探针光源 • 配备适用于不同样品的光学载物台 选项 • 包括激光扫描系统 • 使用高灵敏度近红外相机进行微光发射分析 • 使用高灵敏度中红外相机进行热分析 • IR-OBIRCH 分析 • 通过激光辐照进行动态分析 • EO 探测分析 • 使用 NanoLens 进行高分辨率和高灵敏度分析 • 连接到 CAD 导航 • 连接到 LSI 测试仪