光学测量系统 C10178-03E

厚度通用量规用于薄膜

Optical NanoGauge 膜厚测量系统 C10178 是一种利用光谱干涉法的非接触式膜厚测量系统。通过光谱干涉法以高灵敏度和高精度快速测量薄膜厚度。我们的产品使用多通道光谱仪 PMA 作为探测器，可以测量量子产率、反射、透射/吸收和各种其他点，同时测量各种滤光片和涂层膜的厚度等。 特点 • 高速和高精度（测量薄膜厚度范围（玻璃）：150 nm～50 μm） • 实时测量 • 精确测量起伏不定的薄膜 • 分析光学常数（n、k） • 提供外部控制 • 量子产率、反射率、透射率和吸收率可通过具体的附件测量 详细参数 • 型号 : C10178-03E • 测量型号（特点） : 支持 NIR • 可测量的薄膜厚度范围（玻璃） : 150 nm 至 50 μm*1 • 测量重现性（玻璃） : 0.05 nm*2 *3 • 测量精度（玻璃） : ±0.4%*3 *4 • 光源 : 卤素光源 • 测量波长 : 900 nm 至 1650 nm • 光斑尺寸 : 约 φ1 mm*3 • 工作距离 : 10 mm*3 • 可测量层数 : 最多 10 层 • 分析 : FFT 分析、拟合分析、光学常数分析 • 测量时间 : 19 ms/point*5 • 光纤连接器形状 : φ12 套管形 • 外部控制功能 : RS-232C、PIPE、以太网 • 电源 : AC200 V 至 AC240 V，50 Hz/60 Hz • 功耗 : 约 230 VA