规格
- XY 轴移动范围:600 毫米 x 800 毫米
- Z 轴移动范围:200 毫米
- 摄像头:2000 万像素黑白摄像头
视场角
- 宽视场测量模式 :600mm×800mm
- 高精度测量模式530 毫米×730 毫米
- 放大倍率 :镜头放大倍数:0.7倍-4.5倍,显示器放大倍数:30倍-240倍
- 被测部件最大高度:200 毫米
- 分辨率:0.1 微米
测量精度
宽视场测量模式
- 平台固定(不移动):±3.0 μm
- 平台移动:±(5+0.05L)μm
高精度测量模式
- 平台固定(不移动):±1.5μm
- 平台移动 : ±(2.8+0.05L)μm
重复精度
宽视场测量模式
- 平台固定(不移动):±1.0 μm
- 平台移动:±2.0 μm
高精度测量模式
- 平台固定(不移动):±0.5μm
- 平台移动:±1.5μm
- Z 轴测量范围(不移动):±3.5 毫米
Z 轴测量精度
- 平台固定(不移动):±2μm
- 平台移动:±(6.0+L/100)μm
- 一次可测量的最大位置数 : 500
- 一次可测量的最大部件数:200 件
功能
- 自动测试:一键放置和测量,自动识别测量位置,自动测试,自动判断结果是或否
- 任意放置产品:支持任意放置,可搜索测量目标
- 扫描功能:扫描读取检测报告上的二维码,读取设置文件,避免程序出错
- 数据存储:自动保存测量结果和检测日期/时间/批号信息
- 数据输出:一键创建检测结果报告和统计报告
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