闭合回路流量调节器 CFR – P377

用于空气压缩空气用于气体

微型集成高稳定性闭环流量调节器。它可以取代质量流量控制器或包括比例阀、流量传感器和控制电子装置的阀组。 接受广泛的输入压力范围，提供稳定、精确的出口流量。 流量范围从1毫升/分钟到10升/分钟，取决于孔口。 0-5V的输入电压或UART通信来设置和读取流量。 消除了测试体积和调节器之间的死体积。 功率非常低（< 1 W）。 应用：气体分析仪、仪器、生物反应器、半导体工艺室。 可根据所需的流体连接和流速进行定制。