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半导体树脂 KrF高耐拉力光敏高热敏
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产品规格型号
- 用途
- 用于半导体
- 技术特性
- 高耐拉力, 光敏, 高热敏
产品介绍
GKR系列是正色调的KrF光刻胶系统，涵盖了广泛的应用。
- 非PFOS/PFAS材料
- 高长宽比的应用
- 对等离子体蚀刻和离子植入的卓越抵抗力
- 宽广的工艺窗口
- 低缺陷水平
- 长期的稳定性
- 垂直剖面
- 广泛的厚度覆盖
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