浓度测量仪器 FUD-1-12, FUD-1-1006

FUD-1模型12 (半。/LCD)依然是和一样模型12.It也以半导体/LCD生产的一个细胞类型传感器为特色的好处。细胞类型传感器是非常小的，并且材料是适用的PFA于要求从半导体/LCD生产。 小细胞类型变换装置 没有污秽[材料：PFA] 周期性替换没有要求 好处 高精确度和稳定 几乎费meintenance 容易的设施 容易的操作 Appiactions 在CMP泥浆的氢过氧化物 H2O2、TMAH、硝酸、H2SO4、HCl等等的稀释控制。 HF、NH4OH、酸值、IPA等等集中监视。 铭刻率监测HF、H2SO4等等。 原则 集中和temperature.FUD-1措施速度和tempearture和calcurates准确地取决于在液体的超音波速度液体的集中从速度和与在数据ROM存放的定标曲线的tempearture。