厚度测量系统 MicroProf® 100

光学晶圆用紧凑型

FRT MicroProf® 100是一种通用的表面测量工具，用于快速、简便地测定形貌、薄膜厚度和样品厚度。作为一个紧凑的桌面装置，也是MicroProf多传感器家族中最小的成员，MicroProf 100提供了其更大的兄弟的全部灵活性。它基于我们成熟的SurfaceSens技术，其中不同的光学测量方法--否则只能在单独的解决方案中找到--被合并到一个通用和节省空间的设备中。 此外，FRT MicroProf 100还可以配备TTV选项，进行双面样品检测。这使您可以同时测量样品的顶部和底部，并在同一测量过程中确定样品的厚度。由于其模块化设计，这种计量工具可以根据您的具体应用进行定制。除了可以添加各种传感器外，软件也可以单独配置，测量任务可以手动或自动执行。